助力第三代半導(dǎo)體可靠性 | 廣電計(jì)量出席2022白石山第三代半導(dǎo)體峰會

文：第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、馬云飛

圖：第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟

 2022年8月6日，由保定市人民政府、河北省科學(xué)技術(shù)協(xié)會、河北省發(fā)展和改革委員會、河北省工業(yè)和信息化廳、河北省科學(xué)技術(shù)廳、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟聯(lián)合主辦，保定國家高新區(qū)管委會、保定市科學(xué)技術(shù)協(xié)會、保定市發(fā)展和改革委員會、保定市工業(yè)和信息化局、保定市科學(xué)技術(shù)局、淶源縣人民政府承辦的2022白石山第三代半導(dǎo)體峰會在河北淶源順利召開。

中國院士、中國副院長、中國大學(xué)黨委書記、校長李樹深，中國院士、北京大學(xué)教授甘子釗，中國工程院院士、清華大學(xué)教授羅毅等院士專家；河北省政府黨組成員、副省長胡啟生的省直部門及央企；中國國電集團(tuán)公司原副總經(jīng)理、黨組成員張成杰, 國家新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家咨詢委員會委員、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲,北京大學(xué)理學(xué)部副主任、寬禁帶半導(dǎo)體研究中心主任、CASA副理事長沈波, CASA副理事長兼秘書長、中科院半導(dǎo)體所原副所長楊富華，以及其他來自相關(guān)政府部門、科研院校、企業(yè)的與技術(shù)專家通過線上、線下的方式參與了開幕式。

保定市委副書記、市政府市長閆繼紅主持峰會開幕式。廣電計(jì)量作為第三代半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域的重要參與者，受邀參與此次活動并做主題演講。

技術(shù)專家與嘉賓發(fā)言

白石山第三代半導(dǎo)體峰會始于2021年，是由保定市人民政府和第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟共同發(fā)起、在保定淶源打造的峰會，為政府、專家學(xué)者、企業(yè)搭建了共商第三代半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用、投資以及發(fā)展相關(guān)問題的高層對話平臺。本次會議以“同‘芯’共贏"為主題，瞄準(zhǔn)國家重大戰(zhàn)略需求及產(chǎn)業(yè)鏈需求，結(jié)合推進(jìn)碳中和及發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)的要求，探討第三代半導(dǎo)體技術(shù)與應(yīng)用。

廣電計(jì)量在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測能力，具備豐富的檢測經(jīng)驗(yàn)。作為第三方檢測機(jī)構(gòu)代表，廣電計(jì)量元器件篩選與失效分析中心總監(jiān)、第三代半導(dǎo)體技術(shù)副總監(jiān)李汝冠博士向與會嘉賓做《第三代半導(dǎo)體功率器件檢測技術(shù)發(fā)展》報(bào)告，詳細(xì)闡述了Si基器件標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體檢測情況以及第三代半導(dǎo)體器件檢測新需求。他指出，第三代半導(dǎo)體優(yōu)勢明顯、應(yīng)用廣泛，是半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的核心方向，如何應(yīng)用新的方式對第三代半導(dǎo)體進(jìn)行質(zhì)量及可靠性的評估與準(zhǔn)確測量，是未來第三方檢測行業(yè)的重要機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

基于廣電計(jì)量豐富的第三代半導(dǎo)體器件檢測經(jīng)驗(yàn)，李汝冠提出基于傳統(tǒng)半導(dǎo)體的檢測技術(shù)及檢測標(biāo)準(zhǔn)（如AEC-Q101）進(jìn)行直接應(yīng)用，以暴露第三代半導(dǎo)體器件的薄弱環(huán)節(jié)；并依據(jù)第三代半導(dǎo)體的特殊性，引入針對第三代半導(dǎo)體器件的測試方法，如SiC MOS的柵極氧化層可靠性測試、偏壓溫度不穩(wěn)定性測試、體二極管雙極性退化測試、閾值電壓測試、GaN HEMT的動態(tài)導(dǎo)通電阻測試等方法。同時(shí)，針對第三代半導(dǎo)體器件的測試方法，需增加動態(tài)應(yīng)力試驗(yàn)，以觸發(fā)在遵循標(biāo)準(zhǔn)的靜態(tài)試驗(yàn)中觀察不到的失效機(jī)制，為第三代半導(dǎo)體企業(yè)的可靠性檢測提供了重要的思路建議。

廣電計(jì)量技術(shù)專家做主題報(bào)告

北京大學(xué)東莞光電研究院院長、北大寬禁帶半導(dǎo)體研究中心原主任張國義，中國半導(dǎo)體所黨委副書記、書記樊志軍，中國半導(dǎo)體研究所副所長張韻，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新主任張魯川，國基北方總經(jīng)理、十三所常務(wù)副所長崔玉新，火炬中心高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展處副處長陳彥等專家代表也參與了此次活動。51萬余人次在線觀看了峰會直播。

——————————————————

第三代半導(dǎo)體在新基建七大領(lǐng)域都有其廣泛的應(yīng)用前景。黨、高度重視第三代半導(dǎo)體發(fā)展，將其列入國家重點(diǎn)規(guī)劃和科技專項(xiàng)支持。而檢測是提高半導(dǎo)體器件質(zhì)量與可靠性的重要保障。廣電計(jì)量作為國有第三方檢測機(jī)構(gòu)，在我國第三代半導(dǎo)體發(fā)展過程中，秉承國企擔(dān)當(dāng)，在光電子、電力電子、微波射頻等第三代半導(dǎo)體三大應(yīng)用領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測能力。

公司在第三代半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域（SiC、GaN）合作客戶20余家，檢測樣品數(shù)量百批次、數(shù)量數(shù)萬只。其中在光電子檢測領(lǐng)域合作客戶數(shù)十家，涉及型號近百個(gè)；在電力電子領(lǐng)域，覆蓋了現(xiàn)行所有可靠性測試標(biāo)準(zhǔn)，單在SiC領(lǐng)域合作客戶十余家，是國內(nèi)SiC檢測度廣、技術(shù)能力的第三方檢測機(jī)構(gòu)之一；在微波射頻領(lǐng)域，助力完成車規(guī)標(biāo)準(zhǔn)的微波射頻的測試，并向更高頻率、更高功率領(lǐng)域布局。